MEMS技术：医疗电子跨越式发展的新动力

　　除了上述的意法半导体为瑞士Sensimed AG公司设计的MEMS隐形眼镜成功案例之外，在生化医疗的应用中MEMS也在不断增长，在临床医疗中利用传感器和智能控制技术来进行肺结核和心脏病的治疗，实现心脏的剌激与疏通，创新应用包括Proteus Biomedical公司的革命性应用——植入式电极，它能剌激心脏内不同腔体位置使它们进行同步或再同步心跳的治疗。其核心技术在于釆用芯片级封装技术，将毫米级尺寸的MEMS传感器和处理器封装系统放在人体的内部使用，而且可以维持好多年，避免了传统的必须用更多的插入导管来剌激心脏的不同位置的方案。

　　依赖MEMS技术的进步，全球在医疗电子领域都不断有创新的例子出现，MEMS压力传感器在义齿力学研究中的得到应用，采用MEMS电容式压力传感器的原理，设计了一个长x宽x高为2．2 mmx 1．8 mmx 0．6mm的MEMS电容式压力传感器，再采用分布式埋植入义齿基托内的方法，能够准确测试出义齿下方粘膜及粘膜下方的骨组织所承受的力和力的分布。该MEMS传感器结构稳定，测量稳定性好，具有良好的线性度，力的最小分辨率为0．1克，灵敏度高，能够在一100℃～200℃ 的温度范围内稳定工作，具有宽的温度适用范围，能够适用于口腔的恶劣环境下作用力的测定。

　　另外，Analog Devices, Inc.(ADI)全球领先的高性能信号处理解决方案供应商，最近宣布 ZOLL Medical CorporaTIon选用 ADI 的高性能iMEMS技术来构建其掌上型 CPR（心脏复苏）设备，用于测量救援人员施行的胸外按压的速率和深度。PocketCPR设备使用 ADI 公司的数字 iMEMS 加速度计将 PocketCPR 的运动转换为实时测量数据，以便精确读取 CPR 胸外按压的速率和深度。这将有助于救援人员获得美国心脏协会 (AHA) 所推荐的胸外按压力量和频率。
　
　　和国外MEMS技术发展同步，中国已将MEMS纳入国家“十一五”科技发展规划和“863计划”，国内也有医疗电子厂商，将MEMS成功应用于医疗设备中，；例如重庆金山科技公司一款利用MEMS技术设计的先进医疗电子设备“智能胶囊”，已实现销售额过亿元。该智能胶囊全名为“OMOM智能胶囊消化道内窥镜系统”，通过吞服进入到病人体内，用一分钟或者两秒钟时间拍照，通过无线电将图像发射出来，医生在检查之后的8个小时之内，通过影像工作站对病人进行诊断。

　　OMOM智能胶囊消化道内窥镜系统是集图像处理、信息通讯、光电工程、生物医学等多学科技术为一体的典型的MEMS高科技产品，由智能胶囊、图像记录仪、手持无线监视仪、影像分析处理软件等组成，是金山科技集团研制的拥有完全自主知识产权的一种新型无创无痛的消化道影像无线检测系统；通过口服智能胶囊完成胃肠道影像检查；克服了传统的推进式内窥镜体积大，检测过程痛苦，不适用于老年、纤弱和危险病人等缺陷；具有体积小、重量轻、检查方便、无创伤、无痛苦、无交叉感染、不影响受检者正常工作等优点。

　　当然，作为新兴技术，MEMS在医疗电子领域的应用有待进一步挖掘，针对MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与系统集成等关键技术，建立MEMS医疗电子研发体系和产业化基地，围绕医疗电子开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统，推动MEMS的可持续发展和未来产业化的形成打下良好的基础。医疗电子市场是一个稳定的市场，它不像消费电子产品那样容易形成泡沫并快速破灭，虽然该产业的投资回报期较长，但它可能为MEMS技术开拓者提供比其他商业领域更稳定和更持久的回报。