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微机电系统
  • [传感器网络] [制造] 基于洛伦兹力的MEMS磁传感器设计及制作
    由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置(SQUID) 、磁通门磁力计、霍尔效应传感器、各向异性磁阻(AMR)传感器、微机电系统(MEMS)磁传感器。
  • [无线通讯网络] [医疗] MEMS技术：医疗电子跨越式发展的新动力
    针对MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与系统集成等关键技术，建立MEMS医疗电子研发体系和产业化基地，围绕医疗电子开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统，推动MEMS的可持续发展和未来产业化的形成打下良好的基础。
  • [相关行业] [其他] 微系统（MEMS）：创新研发合作模式
    微系统：创新研发合作模式 建设良好生态环境,工业和信息化部电子科技委专用装备组微系统原来是指MEMS(微机电系统)，是微电子技术从二维向三维发展。